技術(shù)文章
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光刻膠處理中的四大烘烤工藝——基板預(yù)烘烤、軟烘、曝光后烘烤與硬烘涂膠前的烘烤構(gòu)建牢靠的膠基結(jié)合基板表面處理是光刻膠附著的首要環(huán)節(jié)。當(dāng)溫度升至100°C時,基材表面吸附的水分子開始脫附,這一過程能有效消除“水膜屏障”,避免光刻膠與基板間因水分殘留導(dǎo)致的結(jié)合力下降。硅、玻璃、石英等氧化表面的羥基(-OH)會導(dǎo)致親水性表面,降低光刻膠附著力,而溫度進(jìn)一步升至150°C以上時,羥基(-OH)會發(fā)生熱裂解反...
無塵室氮氣柜(也稱為氮氣保護(hù)柜或氮氣箱)是一種用于實驗室、生產(chǎn)車間等環(huán)境中的設(shè)備,主要用于提供氮氣環(huán)境,以確保材料、產(chǎn)品或?qū)嶒灅悠吩跓o塵、低氧的條件下存儲、加工或測試。特別是在半導(dǎo)體、電子、藥品、化學(xué)試劑等領(lǐng)域,氮氣柜的使用極為廣泛。無塵室氮氣柜的具體操作過程:1.氮氣供應(yīng)系統(tǒng):通過外部氮氣源(如液氮罐、氮氣瓶或氮氣發(fā)生器)提供所需的氮氣。氮氣通過管道進(jìn)入氮氣柜,并通過控制閥調(diào)節(jié)氣體流量。2.內(nèi)部氣體替換:氮氣進(jìn)入柜體后,通過多次循環(huán)和換氣,逐漸降低柜內(nèi)的氧氣濃度,直至達(dá)到設(shè)...
1.溫度控制溫度范圍:室溫~250℃(根據(jù)光刻膠類型調(diào)整,如I線膠通常90~120℃,EUV膠需200℃以上)。均勻性:±0.5℃以內(nèi)(晶圓級烘箱需±0.1℃),避免膠膜厚度不均或顯影缺陷。升溫速率:1~5℃/秒(快速熱退火RTP型烘箱可達(dá)10℃/秒)。2.潔凈度Class10~100級(ISO4~5級),需配置HEPA/ULPA過濾器(過濾效率≥99.995%)。無塵設(shè)計:內(nèi)腔為不銹鋼或陶瓷涂層,避免顆粒污染膠面。3.氣氛控制惰性氣體保護(hù)(N?、...
光刻膠烘箱是半導(dǎo)體制造、光電子器件加工中的關(guān)鍵設(shè)備,愛義信工業(yè)科技用于光刻膠(Photoresist)的前烘(Pre-Bake)和后烘(Post-Bake)工藝,其核心功能是控制膠膜的溶劑揮發(fā)、應(yīng)力釋放及化學(xué)鍵合,直接影響光刻圖形的分辨率和良率。一、光刻膠烘箱的核心技術(shù)要求1.溫度控制溫度范圍:室溫~250℃(根據(jù)光刻膠類型調(diào)整,如I線膠通常90~120℃,EUV膠需200℃以上)。均勻性:±0.5℃以內(nèi)(晶圓級烘箱需±0.1℃),避免膠膜厚度不均...
流水線烘箱是一種常用于工業(yè)生產(chǎn)過程中的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于電子、食品、化工、醫(yī)藥等行業(yè)。主要用于對產(chǎn)品進(jìn)行加熱、干燥、固化等處理過程,以滿足生產(chǎn)工藝對溫度、時間和環(huán)境的特殊要求。工作原理相對簡單,它通過加熱元件(如電熱管、燃?xì)鉄斓龋崮軅鬟f給烘箱內(nèi)部的空氣,形成恒溫的熱流環(huán)境??諝馔ㄟ^風(fēng)機(jī)在烘箱內(nèi)部流動,將熱量均勻地分布在烘箱的各個部位,確保產(chǎn)品表面和內(nèi)部的溫度都能均衡升高,從而實現(xiàn)加熱或干燥的目的。流水線烘箱的應(yīng)用領(lǐng)域:1.電子行業(yè):在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)中,用于元器件的烘烤、干...
無塵室氮氣柜是一種用于存儲和管理敏感電子元件、半導(dǎo)體晶圓、精密儀器等物品的設(shè)備,能夠提供一個無塵且低濕度的環(huán)境,以防止物品受到污染或氧化。這種設(shè)備通常使用純凈的氮氣來置換柜內(nèi)的空氣中的氧氣和水分,從而保持內(nèi)部的環(huán)境穩(wěn)定。工作原理基于氮氣的特性,即不活躍、不易與其他物質(zhì)反應(yīng)。通過向柜內(nèi)充入高純度的氮氣,可以顯著降低柜內(nèi)的氧氣和水分含量,從而防止氧化和濕氣對敏感物品的影響。同時,無塵室內(nèi)的環(huán)境控制確保了柜外的污染物不會進(jìn)入柜內(nèi),保護(hù)了內(nèi)部的物品。無塵室氮氣柜的主要組成部分:1.密...
我們這里所說的烤箱是指工業(yè)烤箱,與做烘焙的烤箱有天壤之別。工業(yè)烤箱中,可以分真空和非真空,充氮和不充氮。它們雖然相似,但是也有實際的區(qū)別。1.普通烤箱:普通烤箱只能提供烘烤功能,高溫烘烤溫度可以達(dá)到很高。2.真空干燥箱、真空烘箱:這兩者都是真空箱范疇,共同點都是利用抽真空造成負(fù)壓進(jìn)行工件處理(干燥、烘烤、加熱、固化、老化等),所不同的是真空烘箱溫度較高(有時需要幾百攝氏度),往往是用于真空熱處理工藝的。3.鋰電池充氮真空烤箱:在愛義信真空烘箱的基礎(chǔ)上,充入氮氣。充氮也是一種熱...
全自動氮氣柜是一種通過氮氣惰性環(huán)境實現(xiàn)防氧化、防潮、延長儲存周期的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于食品、半導(dǎo)體、實驗室及軍工等領(lǐng)域。全自動氮氣柜的選購要點:1、氮氣純度與濃度控制純度要求:氮氣純度需≥99.99%,避免氧氣、水分等雜質(zhì)對樣品造成污染。濃度控制精度:優(yōu)先選擇氧濃度≤1%且可調(diào)范圍廣(如0.1%-5%)的設(shè)備,適配高敏感樣品的存儲需求。濃度監(jiān)測技術(shù):采用高精度電化學(xué)/氧化鋯傳感器,響應(yīng)時間≤3秒,誤差≤±0.1%,確保數(shù)據(jù)實時準(zhǔn)確。2、節(jié)能與氮氣利用率氮氣消耗量:對...
兩廂式冷熱沖擊試驗箱是一種重要的測試設(shè)備,廣泛應(yīng)用于電子、電氣、航空、汽車等行業(yè)。它通過模擬產(chǎn)品在特殊溫度變化下的使用環(huán)境,來測試產(chǎn)品在冷熱交替環(huán)境中可能出現(xiàn)的變化和性能衰退。其主要功能是模擬產(chǎn)品在短時間內(nèi)經(jīng)歷快速溫度變化,從而評估產(chǎn)品在實際應(yīng)用中的耐用性、可靠性和質(zhì)量。兩廂式冷熱沖擊試驗箱的工作原理:1.溫度轉(zhuǎn)換:試驗箱內(nèi)設(shè)有兩個獨立的工作區(qū)域——高溫區(qū)和低溫區(qū)。在試驗過程中,樣品可以在這兩個區(qū)域之間迅速轉(zhuǎn)移,實現(xiàn)冷熱沖擊的效果。2.溫控系統(tǒng):冷熱沖擊試驗箱配有高精度的溫控...
兩廂式冷熱沖擊試驗箱可用來測試材料結(jié)構(gòu)或復(fù)合材料,在瞬間下經(jīng)較高溫及極低溫的連續(xù)環(huán)境下所能忍受的程度,藉以在*短時間內(nèi)試驗其因熱脹冷縮所引起的化學(xué)變化或物理傷害,適用的對象包括金屬,塑料,橡膠,電子等材料,可作為其產(chǎn)品改進(jìn)的依據(jù)或參考。兩廂式冷熱沖擊試驗箱可用于不連續(xù)地處于高溫或低溫中的情形,能使各種物品在*短的時間內(nèi)完成測試。熱震中產(chǎn)生的變化或物理傷害是熱脹冷縮改變或其它物理性值的改變而引起的,采用PID系統(tǒng),各類產(chǎn)品才能獲得完*之信賴。熱震的效果包括成品裂開或破層及位移等...
精密熱風(fēng)循環(huán)烘箱是一種廣泛應(yīng)用于實驗室、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的高性能熱處理設(shè)備。它主要通過內(nèi)部的熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),利用加熱元件加熱空氣,并將熱空氣均勻分布在烘箱內(nèi),以確保物品在均勻的溫度條件下進(jìn)行干燥、加熱或恒溫處理。具有溫控精準(zhǔn)、均勻加熱、高效節(jié)能等特點,常用于電子、電器、化工、醫(yī)藥、食品等行業(yè)。精密熱風(fēng)循環(huán)烘箱的具體工作流程:1.加熱:烘箱內(nèi)的電加熱元件(如電阻絲、加熱管等)將電能轉(zhuǎn)換為熱能,使空氣溫度上升。加熱元件通常安裝在烘箱的底部或頂部,通過熱傳導(dǎo)將熱量傳遞到空氣中。2.循環(huán)...
大家都知道精密真空烤箱是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備,它利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點,加快干燥的速度。愛義信精密真空烤箱具體干燥物品速度快、污染小、不對被干燥物品的內(nèi)在質(zhì)量造成破壞的優(yōu)點。但您知道愛義信精密真空烤箱為什么要先抽真空再運(yùn)行使用嗎?1、試驗品放入精密真空烘箱里抽真空是為了抽去工件材質(zhì)中可以抽去的氣體成分。如果先加熱工件,氣體遇熱就會膨脹。由于烘箱的密封性非常好,膨脹氣體所產(chǎn)生的巨大壓力有可能使觀察窗鋼化玻璃爆...
高低溫濕熱試驗箱是一種用于模擬各種環(huán)境條件下產(chǎn)品性能的試驗設(shè)備。通過在高溫、低溫、高濕和低濕等不同環(huán)境下對產(chǎn)品進(jìn)行測試,以評估產(chǎn)品在特殊環(huán)境下的穩(wěn)定性、可靠性和耐久性。工作原理是通過控制試驗箱內(nèi)的溫度、濕度和氣壓等參數(shù),模擬各種環(huán)境條件,對產(chǎn)品進(jìn)行測試。試驗過程中,試驗箱內(nèi)的傳感器會實時監(jiān)測溫度、濕度等參數(shù),并將數(shù)據(jù)傳輸?shù)娇刂葡到y(tǒng),控制系統(tǒng)根據(jù)設(shè)定的試驗程序,自動調(diào)整試驗箱內(nèi)的溫度、濕度等參數(shù),以保證試驗的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。高低溫濕熱試驗箱結(jié)構(gòu)組成:1.箱體:試驗箱的主體結(jié)構(gòu),...
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