潔凈室氮氣柜是一種用于保護(hù)光敏材料等對空氣中微小粒子非常敏感的物質(zhì)的設(shè)備。主要通過向工作區(qū)供應(yīng)高純度氮氣，從而將空氣中的有害微粒和濕氣排除。結(jié)構(gòu)由上、下兩部分組成，上部為氮氣發(fā)生器，下部為儲存?zhèn)}和過濾系統(tǒng)。氮氣發(fā)生器采用電解技術(shù)，將普通空氣中的氧氣和氮氣分離，得到高純度的氮氣，其純度可達(dá)99.99%以上。儲存?zhèn)}內(nèi)裝有氮氣儲罐，過濾系統(tǒng)則包括粗濾、精濾和活性炭吸附三個部分，以去除殘留的雜質(zhì)和異味。
潔凈室氮氣柜通過氮氣發(fā)生器產(chǎn)生高純度氮氣，并將氮氣通過管道輸送到工作區(qū)。工作區(qū)內(nèi)的空氣被排出，使得微粒和濕氣不會進(jìn)入工作區(qū)域，從而保證工作區(qū)的環(huán)境干凈、無塵、無水汽等。同時，氮氣柜內(nèi)儲存?zhèn)}和過濾系統(tǒng)可以去除殘留的雜質(zhì)和異味，確保供氣的氮氣純度不受影響。主要應(yīng)用于光學(xué)、電子、半導(dǎo)體等行業(yè)中對精密加工和材料制備要求高的工作環(huán)境。例如，在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，可以用于保護(hù)光刻膠在接觸式光刻機(jī)上的穩(wěn)定性，防止有害微粒和濕氣對光刻膠的污染。
優(yōu)點：
1.高純度氮氣：可以提供高純度氮氣，確保工作區(qū)的環(huán)境干凈、無塵、無水汽等。
2.安全可靠：氮氣柜內(nèi)部設(shè)有安全閥和泄壓裝置，確保氮氣柜的安全運(yùn)行。
3.節(jié)能環(huán)保：氮氣發(fā)生器采用電解技術(shù)，無需化學(xué)反應(yīng)，避免了有害物質(zhì)的排放，并且具有節(jié)能的優(yōu)點。
4.易于操作：氮氣柜的操作簡單方便，僅需按下開關(guān)即可啟動。
潔凈室氮氣柜是一種用于保護(hù)對微小粒子非常敏感的物質(zhì)的設(shè)備，其主要原理是通過向工作區(qū)供應(yīng)高純度氮氣，從而將空氣中的有害微粒和濕氣排除。它適用于光學(xué)、電子、半導(dǎo)體等行業(yè)中對精密加工和材料制備要求高的工作環(huán)境，并具有高純度氮氣、安全可靠、節(jié)能環(huán)保、易于操作等優(yōu)點。
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